テレバック®3FミニBAホットイオン超高真空ゲージ（UHV）

3F Hot Ion Vacuum Gauge
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部品番号3451-8305-25 , 3451-8305-35 , 3452-8306-05

互換性：MC300（レガシー）、 MM200（レガシー）

Televac®3F Mini BA Hot Cathode Ionization UHVゲージは、高真空における実証済みの精度と比類のない耐久性で性能を最大限に引き出します。この小型センサーの頑丈なオールメタル構造は、ほとんどのアプリケーションに最適で、一次エンクロージャーと内部エレメントの多くは304ステンレス鋼で作られています。二重フィラメントはイットリアコーティングされたイリジウムで、温度や経年変化に対して均一な出力を提供し、校正誤差を少なくするために個別にサポートされています。イットリアコーティングされたイリジウムフィラメントは、圧力バーストに耐える傾向があり、より劣った材料では不可能な堅牢性を備えています。一般的なユーザーは、10,000時間のフィラメント寿命を経験するはずです。精密イオンコレクターは直径0.004インチで、ゲージのX線限界を減少させます。

仕様

測定範囲 1*10-2から 1*10-10Torr
窒素に対する感度 10/Torr
ベークアウト温度 200 °C
動作温度 0 °C～50 °C
エックス線限界 <1*10-10 Torr
フィラメントエミッション電流 .01、0.1、1.0 mAまたは自動
フィラメントバイアス電位 +30 V +/‐ 0.3%
グリッドポテンシャル +180 V +/‐ 0.3%
フィラメント加熱電圧 1.5 V Typical (2.5 V Max)
フィラメント加熱電流 1.5A（代表値）、3A（最大値
取付方向 何れかの
ドガパワー 5 W電子ビーム

アプリケーション

低温・工業用ガス
半導体
薄膜の成膜・コーティング工程
分析機器
装飾的なコーティング
電子顕微鏡
環境シミュレーション
高エネルギー物理学
イルミネーション製品の製造・販売
磁気メディア製造株式会社
分子線エピタキシー
光学・機能性コーティング
物理蒸着
表面科学
熱処理