Televac® 3F Mini BA Hot Ion Ultrahochvakuum-Messgerät (UHV)

3F Hot Ion Vacuum Gauge
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Teilenummern: 3451-8305-25, 3451-8305-35, 3452-8306-05

Kompatibel mit: MC300 (Legacy), MM200 (Vorgängermodell)

Das Televac® 3F Mini BA Heißkathoden-Ionisations-UHV-Messgerät maximiert die Leistung mit bewährter Genauigkeit und unübertroffener Haltbarkeit im Hochvakuum. Die robuste Ganzmetallkonstruktion des Miniatursensors ist ideal für die meisten Anwendungen. Das Hauptgehäuse und viele der internen Elemente sind aus Edelstahl 304 gefertigt. Die Doppelfilamente bestehen aus yttriumoxidbeschichtetem Iridium und sind einzeln gelagert, um eine gleichmäßige Ausgabe bei Temperatur- und Altersschwankungen zu gewährleisten und Kalibrierungsfehler zu verringern. Beschichtete Iridium-Filamente widerstehen Druckstößen mit einer Robustheit, die mit weniger hochwertigen Materialien nicht möglich ist. Der typische Benutzer sollte mit einer Lebensdauer von 10.000 Stunden rechnen. Der Präzisions-Ionenkollektor hat einen Durchmesser von 0,004", wodurch sich die Röntgengrenze des Messgeräts verringert.

Spezifikationen

Messbereich 1*10-2 bis 1*10-10 Torr
Empfindlichkeit für Stickstoff 10/Torr
Ausheiztemperatur 200 °C
Betriebstemperatur 0 °C bis 50 °C
Röntgen-Grenzwert <1*10-10 Torr
Wendel-Emissionsstrom .01, 0,1, 1,0 mA oder Auto
Filament Vorspannung Potential +30 V +/‐ 0.3%
Netzpotential +180 V +/‐ 0.3%
Heizspannung des Filaments 1,5 V typisch (2,5 V maximal)
Heizstrom der Wendel 1,5 A typisch (3 A maximal)
Montageausrichtung Beliebig
Degas Leistung 5 W E-Strahl

Anwendungen

Kryogenik und Industriegase
Halbleiter
Dünnschichtabscheidung und Beschichtungsprozesse
Analytische Instrumente
Dekorative Beschichtung
Elektronenmikroskopie
Umweltsimulation
Hochenergiephysik
Beleuchtung Produkt Mfg.
Magnetische Medien Mfg.
Molekularstrahlepitaxie
Optische & funktionale Beschichtung
Physikalische Gasphasenabscheidung
Oberflächenkunde
Thermische Verarbeitung