- 고오염 내성 냉음음이온화 게이지 설계
- 낮은 가스로 이어지는 모든 금속 씰
- 컴팩트한 디자인
- 컬러 OLED 디스플레이
- 구성 가능한 0 ~ 10 V 아날로그 출력
- 공정 제어를 위한 포인트 릴레이 및 개방형 커넥터 설정
- RS-485 및 USB 통신 표준
- MX 액티브 게이지 EIP 게이트웨이를 통해 제공되는 이더넷IP 통신
- 센서 수명을 연장하기 위해 쉽게 세척할 수 있는 이온화 게이지
- ISO 17025 인증 및 NIST 추적 가능 보정(옵션)
- 교정 및 서비스를 위한 신속한 턴-어라운드
새로운 Televac MX7M은 새로운 Televac®® 7M 냉음극 이온화 게이지를 특징으로하는 액티브 진공 게이지 (아날로그 진공 게이지 또는 디지털 진공 게이지라고도 함)로, 5 * 10-11 ~ 1 * 10-2 Torr의 넓은 작동 범위를 갖추고 있습니다 (이것을 다른 측정 단위로 변환하려면 편리한 유닛 변환기를 확인하십시오). 이것은 10-11 Torr 범위로 측정되는 시장에서 유일하게 세척 가능한 냉음극입니다. 새로운 트리플 반전 마그네트론 설계는 선형성을 개선하면서 길잃은 자기장을 크게 줄임으로써 진공 게이지의 전반적인 정확도를 향상시킵니다.
이 진공 게이지는 전체 금속 씰이 있어 전체적인 컴팩트한 디자인을 유지하면서 가스 방출을 최소화합니다. MX7M 냉음극 게이지는 구성 가능한 0~10V DC 아날로그 출력, RS-485 통신(이더넷IP 옵션), 프로그래밍 가능한 설정 포인트 2개(릴레이 및 오픈 콜렉터), 180° 시야각의 밝은 OLED 디스플레이 등 다양한 기능도 제공합니다.
이 냉음극 게이지의 모든 기능은 디스플레이와 터치 컨트롤 또는 디지털 통신을 통해 액세스할 수 있습니다. 또한 이 액티브 게이지용 이더넷IP 게이트웨이를 통해 로크웰 오토메이션® 알렌 브래들리® PLC와 이더넷IP 통신을 할 수 있습니다. 이 냉음극 게이지를 MX2A 열전대 액티브 진공 게이지 또는 MX4A 대류 액티브 진공 게 이지와 같은 러프 진공 게이지와 결합하면 5*10-11 Torr에서 1000 Torr(대기압 약간 위)까지 전체 범위를 측정할 수 있습니다.
MX7M 콜드 캐터드 액티브 진공 게이지
D-Sub 15, 15 컨덕터 케이블(플라잉 리드)
D-Sub 15, 6 컨덕터 케이블(플라잉 리드)
벽 전원 공급 장치
교체용 센서 및 부품
운영 범위 | 5*10-11 토르 ~ 1*10-2 토르 |
표시 | OLED |
디지털 커뮤니케이션 | RS-485, USB (마이크로) |
아날로그 출력 | 구성 가능한 0 ~ 10 V DC |
프로그래밍 가능한 집합 점 | 2 |
세트 포인트 1 | 컬렉터 열기 |
세트 포인트 2 | 릴레이 |
공급 전압 | 22V DC ~ 26V DC |
최대 전력 | 8 W |
교정 매체 | 건조한 공기 또는 질소 |
압 | 150 PSI |
디지털 출력 해상도 | 지수가 있는 3자리 |
아날로그 출력 해상도 | 16 비트 |
작동 온도 | 0°C ~ 50°C |
보관 온도 | -20°C ~ 60°C |
베이크 아웃 온도 (전자 장치 제거) |
250 °C |
응답 시간 | ≤50ms |
판독 가능한 거리 표시 | 3m(10피트) |
정확도 | |
1*10-9에서 1*10-3 Torr | ±30% 판독 |
아날로그 출력 | ±10mV |
핀 | 설명 |
1 | 아날로그 출력(접지) |
2 | RS-485 A(-) |
3 | SP2 NC |
4 | SP2 NO |
5 | SP1 오픈 드레인 |
6 | 연결하지 않음 |
7 | 연결하지 않음 |
8 | 공급 전압(+) |
9 | 아날로그 출력(0~10) V |
10 | RS-485 B(+) |
11 | SP2 Com |
12 | SP1 소스 |
13 | 센서 전압 제어(접지) |
14 | 센서 전압 제어(+) |
15 | 공급 전압(접지) |
MX7M에는 두 개의 설정 포인트가 있습니다. 설정 포인트 1은 N-채널 60V MOSFET 오픈 콜렉터입니다. 최대 정격 전류는 1A이며 데이터시트는 www.vishay.com/en/product/69958 에서 확인할 수 있습니다 .
설정값 2는 최대 스위칭 전압이 220V DC(250V AC)이고 최대 스위칭 전류가 2A인 계전기입니다. 데이터시트는 www.te.com/catalog/pn/en/1393788-3 에서 확인할 수 있습니다 .
스테인리스 스틸 |
알루미나 세라믹 |
몰 리브 덴 |
코바르 (주) |
Ag-Cu 브레이징 합금 |
구리 |
주택 | 알루미늄 |
센서가 있는 무게 | 1 kg (2 파운드) |
센서가 없는 무게 | 0.3 kg (0.6 파운드) |
UL 61010-1 인증 |
CAN/CSA C22.2 61010-1-12 인증 획득 |
EN 61010-1, EN 61236-1, EN 55011에 따라 CE 인증 획득 |
RoHS 준수 |
IP40 |
EAC 인증 |
ISO 17025 공인 보정 옵션 |
NIST 추적 가능한 교정 옵션 |
제품 설명서
MX7M 데이터 시트 |
MX7M 사용 설명서 |
Televac® 진공 보정 공차 |
3D 모델(STEP 파일)
2-8950-CF40 - MX7M NW40/KF40 스테인리스 스틸 |
응용 프로그램 노트
동영상
MX7M 분해 비디오 |
도구
원격® 진공 측정 컨버터 |
웹 직렬 터미널 |
기사
최신 냉음극 기술을 사용한 진공 측정 |
브로셔
Televac® Vacuum Measurement Product Catalog |
MX7M의 장점 및 기능 브로셔 |
MX7M 저온 음극 활성 진공
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